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过程工程所参与“芯片用超高纯电子级磷酸及高选择性蚀刻液生产关键技术”项目获2019年度国家科技进步二等奖
2020-01-10 |     【关闭窗口】
    

  过程工程所参与的“芯片用超高纯电子级磷酸及高选择性蚀刻液生产关键技术”项目,突破了芯片用超高纯电子级磷酸和高选择性蚀刻液的进口替代难题,于110日上午,被授予2019年度国家科技进步二等奖。

  项目由湖北兴发化工集团股份有限公司、www.365tv.com、武汉工程大学、湖北兴福电子材料有限公司四家单位完成。围绕国家化学和电子工业重大战略需求,过程工程所绿色化工研究部的杨超、华超等研究员与上述企业合作,发明了高纯黄磷与电子级磷酸规模化生产关键技术,实现了高端芯片用超高纯电子级磷酸和高选择性蚀刻液的国产化。

  项目产品销往三星电子、新加坡格罗方德、中芯国际、华虹宏力等国内外知名电子企业,推动了我国芯片制造等高新技术产业的发展。


  (科技合作处/绿色化工研究部)

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